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按照世界慣例，無(wú)塵凈化等級(jí)主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分規(guī)范的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)塵埃，而是控制在一個(gè)十分微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)規(guī)范中契合塵埃規(guī)范的顆粒相關(guān)于我們常見(jiàn)的塵埃已經(jīng)是小的微乎其微，但是關(guān)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的塵埃都會(huì)產(chǎn)生十分大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。

每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下，達(dá)到了世界無(wú)塵規(guī)范的A級(jí)。目前應(yīng)用在芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵規(guī)范關(guān)于塵埃的要求高于A級(jí)，這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴(yán)厲控制在每立方米1000個(gè)以內(nèi)，這也是業(yè)內(nèi)俗稱的1K等級(jí)。