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潔凈室內(nèi)之污染路來(lái)源，經(jīng)測(cè)試分析成果，作業(yè)人員占約80%。試驗(yàn)數(shù)據(jù)顯示，作業(yè)人員進(jìn)出潔凈室時(shí)塵土有明顯增加，有人動(dòng)作時(shí)，潔凈度立刻劣化，可見潔凈度劣化之原因人是主要因素。?

潔凈室的污染源可分為外污染及內(nèi)污染源。外污染源主要包含空調(diào)送風(fēng)、空隙進(jìn)入、建筑物、工作服、風(fēng)管資料以及一般性氣體如N2、O2、Air、給水、溶劑等；而內(nèi)污染源則包含制程設(shè)備、工作人員、東西、加工制程、隔間資料、工作桌、包裝資料等。?

對(duì)硅芯片而言，微塵粒子之附著將形成集成電路線路的變形或短路，使芯片失掉運(yùn)作功用，因此微污染源已成為潔凈室辦理的重要環(huán)節(jié)。

微污染防控，其基本原則有四：    

1、外部塵土侵入之避免潔凈室恰當(dāng)之正壓保持（>0.5mmAq），做好施工工程之不漏氣，人員設(shè)備、原資料搬入潔凈室前先做好清潔擦洗等防塵動(dòng)作，空氣過(guò)濾器恰當(dāng)?shù)霓k理和設(shè)置。    

2、室內(nèi)發(fā)塵之避免隔間板、地板等潔凈室資料的恰當(dāng)選用、制程設(shè)備的發(fā)塵、生產(chǎn)自動(dòng)化及人員不聚集、動(dòng)作放松、潔凈衣的辦理、使用潔凈室容器等。    

3、室內(nèi)發(fā)塵之不積留墻面體應(yīng)光滑無(wú)死角、潔凈室需定期保養(yǎng)和打掃、制程設(shè)備四周應(yīng)留有空間。   

4、發(fā)生塵土之排除換氣次數(shù)應(yīng)足夠，恰當(dāng)?shù)目臻g安置以及污染源接排氣和空調(diào)的氣流速度須恰當(dāng)。人、物入室的辦理問題、實(shí)際的作業(yè)條件和工程辦理相關(guān)之問題、室內(nèi)之空調(diào)及打掃聯(lián)系之問題。