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1、物料及設(shè)備之進(jìn)出也必須經(jīng)過(guò)潔凈程序，方不至于影響無(wú)塵車(chē)間之潔凈度。

2、工作人員于其室內(nèi)清潔設(shè)備或物料時(shí)必須穿著潔凈衣服，所使用之擦拭紙為無(wú)塵紙或不會(huì)脫落織毛之無(wú)塵布，清潔劑除了使用超純水之外，并加入3~5％濃度的IPA或丙酮化學(xué)品，以增強(qiáng)去污能力，由于IPA及丙酮具揮發(fā)性，故此房間之排氣效果須特別考慮。

3、無(wú)塵車(chē)間內(nèi)用品除了進(jìn)出無(wú)塵車(chē)間用的潔凈衣、鞋、頭罩、帽、手套、口罩外，尚有如紙張文具、桌子、椅子、芯片盒、搬運(yùn)車(chē)、筆記本、告示板及垃圾箱、吸塵器等。

潔凈衣之材料以洗后或使用其它處理后仍不會(huì)發(fā)塵者為基本條件，且其布料為不易燃燒、不起毛，其織法或布料之組織不易通過(guò)污染物和不附著污染物之材質(zhì)，另外經(jīng)過(guò)磨擦不產(chǎn)生靜電或帶電性非常小，洗滌再生容易、不易皺、著衣感舒適等亦為選用考慮因素。

頭罩材質(zhì)為無(wú)塵紙或無(wú)紡布制成，帽子材質(zhì)則與潔凈衣相同，二者在穿戴使用時(shí)，除了只露出眼睛和臉表面部分外，其它部分均需包覆，在頭部部分連接上衣處也必須全蓋住，頭發(fā)亦不能露出來(lái)。無(wú)塵車(chē)間用鞋要合腳且穿起來(lái)舒適為基本條件。